1月30日,在德州職業(yè)技術(shù)學院集成電路制造工藝實踐中心,光刻機將設(shè)計好的電路圖形“雕刻”到硅片上。“這是光刻環(huán)節(jié),是決定芯片功能的關(guān)鍵一步。”德州職業(yè)技術(shù)學院教師趙寧寧介紹。

近年來,我市將集成電路產(chǎn)業(yè)作為“一號產(chǎn)業(yè)”全力打造,德州職業(yè)技術(shù)學院2021年設(shè)立集成電路專業(yè),2025年成立集成電路產(chǎn)業(yè)學院。但因設(shè)備、場地等原因所限,難以提供覆蓋芯片制造全鏈條的真實實訓場景。
為破解這一難題,今年1月份,該院建設(shè)的集成電路制造工藝實踐中心投用,建成一條涵蓋薄膜制備、光刻圖形化、刻蝕、清洗去膠、封裝鍵合、功能測試六大模塊的“教學型”芯片制造流程線,實現(xiàn)從一枚裸硅片起步,到最終制作出具備特定功能、可實際測試的集成電路芯片,其制作工藝精度可達3微米。據(jù)了解,該中心是我國北方地區(qū)職業(yè)院校中首個實現(xiàn)從“硅片”到“芯片”全流程制造的實踐教學平臺。

此外,該平臺不僅將企業(yè)初級工藝培訓前置到校園,實現(xiàn)學生畢業(yè)即上崗,還為本地中小微科技企業(yè)及創(chuàng)新團隊提供小批量流片、工藝試驗和原型驗證服務(wù),進一步延展德州市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈。
“為用好實踐中心,學校將通過課程改革、教材開發(fā)、師資鍛煉、‘崗課賽證’融通等方式,進一步提升教學水平,推動集成電路專業(yè)實現(xiàn)快速發(fā)展?!钡轮萋殬I(yè)技術(shù)學院黨委委員、副院長梁強說。
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德州日報新媒體出品
記者|王露 通訊員|李金甫
編輯|王露
審核|王育恒 終審|李玉梅